Colleuse de tranches – AML-AWB
Description
Ce système remplit les fonctions suivantes :
- Alignement in situ (y compris l’alignement par infrarouge) à 1 µm près pour les échantillons dans la même chambre pendant le collage.
- Inspection des repères d’alignement à la chauffe des échantillons pour vérifier l’alignement immédiatement avant le collage afin d’éliminer les erreurs de précision causées par l’expansion thermique et l’inadéquation entre les tranches, les pièces de machine et les plateaux. Le système permet aussi aux utilisateurs d’effectuer des réactions chimiques in situ sur les surfaces des tranches dans la chambre de collage.
- Chauffage indépendant des tranches supérieures et inférieures jusqu’à 500 °C.
Capacités de la colleuse de tranches AML-AWB :
- Liaison anodique, eutectique, directe, avec polymère/adhésif, par thermocompression, par joint organique ou par soudage.
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