Gemini500 SEM de Zeiss

Ce microscope électronique à balayage est une colonne GeminiSEM 500 de Zeiss utilisant un filament émetteur de champ thermique Schottky pour l’imagerie entre 0,1 et 30 kV à une résolution sous-nanométrique. Il peut moduler la pression dans la chambre d’échantillon pour compenser le chargement d’échantillons non conducteurs.

Les images peuvent être prises par les détecteurs suivants ou une combinaison d’entre eux afin d’obtenir une qualité optimale pour un large éventail d’échantillons à contraste élevé, en les endommageant le moins possible.

Notre outil est équipé des détecteurs suivants :

• Détecteur à électrons rétrodiffusés de 4 voies : Sert à l’imagerie composite contrastée et l’imagerie topographique, notamment pour analyser les défaillances des métaux.
• Détecteur d’électrons à lentille à immersion : Sert à la topographie. Idéal pour l’imagerie à faible tension et peu invasif.
• Détecteur d’électrons secondaire : Sert à l’imagerie topographique à haute tension.
• Spectroscope à dispersion d’énergie de Bruker : Détecteur à rayons X servant à détecter les taches sur les matériaux composites d’un échantillon.