Graveur – RIE-10NR de SAMCO

Le RIE-10NR est un graveur à sec entièrement automatique qui répond aux exigences les plus élevées en matière de traitement au fluor. La gravure assure une détérioration minimale des parois latérales et une grande sélectivité entre les matériaux. L’appareil peut traiter des tranches de 8 po de diamètre et moins. Le panneau tactile informatisé permet de régler les paramètres et de saisir et d’enregistrer les recettes.

Il peut servir à la gravure anisotrope de toutes sortes de pellicules minces à base de silicium, de composés semi-conducteurs et de métaux réfractaires (Si, SiO₂, poly-Si, Si₃N₄, GaAs, Mo, etc.) ainsi qu’à la fabrication des micromachines et à l’analyse des défaillances.

Télécharger la brochure du graveur RIE-10NR de SAMCO (anglais seulement - version PDF, 64 Ko)