Graveur – RIE-110ip de SAMCO

Le RIE-110iP est un graveur au plasma à couplage inductif utilisant tant le fluor que le chlore pour la gravure anisotrope de tranches semi-conductrices.

Il sert principalement à graver des motifs dans les tranches en silicium et en composé III‑V pour les structures nanophotoniques.

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