
Installations et équipement
Tous nos laboratoires ont une capacité de transformation de plaquettes et de pièces ayant jusqu’à quatre pouces de diamètre, à l’exception de certains outils de lithographie, qui acceptent des plaquettes ayant jusqu’à deux pouces de diamètre.
Heures d’ouverture
- Installations du laboratoire : Du lundi au vendredi, de 8 h 30 à 17 h
- Bureau administratif (CRA 350) : Du lundi au vendredi, de 8 h à 16 h
Les installations sont fermées lors des jours fériés.
Remarque : Pour entrer dans un laboratoire, les visiteuses et visiteurs doivent être préapprouvés et accompagnés par un membre de l’administration. Si vous désirez visiter les installations, écrivez à l’adjointe administrative du NanoFab en y décrivant brièvement le but de votre visite.

Installations

Il y a trois laboratoires :
- Métrologie (CRA 329)
- Chimie humide (CRA 330)
- Salles propres blanche et jaune – classe 10 000 (CRA 333)
Équipement
Salle propre - 333A (jaune)
- Aligneur de masques - OAI modèle 204IR
- Four HMDS – YES-310TA
- Four de séchage sous vide
- Cuve à ultrasons – Gamme 112xx
- Plaques chauffantes et agitateurs
- Tournette de traitement Laurell - WS-650-23
- Boîte à gants intelligente – Terra Universal
Salle propre - 333B (blanche)
- Pulvérisateur – Quorum 150R
- MEB + EBL - PIONEER de Raith
- Évaporateur – Nexdep d'Angstrom
- Graveur au plasma d'oxygène – PE-50
- Graveur – SAMCO RIE-110ip
- Graveur - SAMCO RIE-10NR
- Système de recuit thermique rapide - Solaris 100
Salle propre - 333C (blanche)
- Colleuse de tranches - AML-AWB
- Microscope à faisceau d’ions d’hélium (HIM) et faisceau d’ions focalisé (FIB) – ORION NanoFab de Zeiss
- Veuillez noter : Cet outil n’est pas inclus avec nos paquets d’utilisateurs. L’approvisionnement de service est plutôt facturé à un taux horaire.
Chimie humide – 330
Salle propre - 333C (blanche)
Salle propre - 333B (blanche)
Laboratoire de métrologie - 329
- Microsoudeuse de fissures – Westbond 7476E
- Ellipsomètre – UVISEL FUV-NIR de Horiba
- MFA Dimension Icon de Bruker
- Metricon – Coupleur par prisme modèle 2010
- GeminiSEM 500 de Zeiss
Laboratoire de chimie humide - 330