Envoyez un courriel à l’adjointe administrative du NanoFab, en y incluant les informations suivantes :
Au besoin, joignez au courriel un document PDF contenant de plus amples renseignements.
La clientèle membre interne et externe bénéficie d’un accès illimité aux installations et outils de NanoFab, dans ses trois laboratoires. Cet accès comprend aussi de la formation sur les outils donnée par une ou un technologiste.
Frais minimum d’une heure ou d’un étage.
| Options de service | Description du service (tous les services incluent le temps de la ou du technologiste) | Coût/unité (CAD) |
|---|---|---|
| 1 | Inspection SEM avec Raith Pioneer ou GeminiSEM 500 | 40 $/heure |
| 2 | Lithographique d’écriture à faisceau avec Raith Pioneer | À négocier |
| 3 | Traitement d’échantillon chambré (p. ex. gravure, système de recuit thermique rapide) Gaz inclus. | 30 $/heure |
| 4 | Dépôt de métal avec évaporateur Angstrom Nexdep Métaux communs inclus (exception : métaux précieux à 1,30 $/nm) | 100 $/étage |
| 5 | Traitement humide Consommables communs inclus. | 40 $/heure |
| 6 | Travail de métrologie (p. ex. MFA, éllipsomètre, Metricon, profilomètre) | 40 $/heure |
| 7 | Travail de photolithographie (p. ex. aligneur de masques) | 40 $/heure |
| 8 | Après-traitement et préparation d’échantillons (p. ex. jonction de fils, soudage par refusion) Métaux communs inclus (exception : métaux précieux à 1,30 $/nm) | 40 $/heure |
| 9 | Inspection et microscopie ORION NanoFab | 60 $/heure |
| 10 | Traitement ORION NanoFab | À négocier |
